-:功率:1.5kW
-:电压:200V-240V单相
-:温度范围:25-200℃
-:流量范围:50-200L/min
-:材质:SUS316L、SUS304
-:管径:A-1/2、B-3/8、C-1/4可选
-:适用介质:高纯氮气及惰性气体
-:应用工序:化学气相沉积、物理气相沉积、快速热处理、晶圆快速干燥、退火过程、清洗和干燥、光刻后烘烤、旋转IPA干燥工艺
产品介绍
在半导体湿法工艺领域,精度和效率至关重要。 实钧芯氮气加热器不仅设计用于清洁后干燥任务。 通过采用我们先进的加热器,用户可以显着降低系统成本和复杂性。 由于其高功率密度,氮气加热器可确保更快的响应和卓越的性能,使其成为快速晶圆干燥和旋转 IPA 干燥工艺的理想解决方案。
主要应用 1. 清洁加热:利用高纯氮气的动力进行无可挑剔的气体加热,最大限度地保证清洁加热特性。 2. 卓越的半导体:通过惰性气体加热提升您的半导体、液晶和有机EL制造设备。 3. 分析精度:实现高纯气体的精确加热,非常适合分析仪和小型检测设备。 4. 精通模拟:探索燃气加热模拟实验,突破您的研究界限。 5. 化工生产:通过受控气体加热优化化工材料的生产工艺。 6. 多功能热处理:在热处理领域,依靠加热炉中的气氛气体加热。 |
|
产品优势
1.优雅的设计:这款氮气加热器拥有时尚的不锈钢安装底座和不锈钢保护盖,确保耐用性和专业外观。
2.性能最大化:氮气加热器旨在最大限度地提高系统性能。 它强调其设计和高功率密度的优势,确保最佳效率和响应时间,符合行业最高标准。
3.创新印刷技术:氮气加热器采用印刷技术,利用其整个表面产生热量,优化传热和温度均匀性。
4.友好的控制面板:通过用户控制面板的功率调节模块轻松调节出风温度,最高温度上限为200℃。
5.尖端功能:
- 采用最先进的加热管,实现快速高效的加热。
- 通过过热保护探头和 K 型热电偶(推荐保护值设置为 200°C)增强安全性。
- 具有保护管、螺纹导向通道和双支撑底座,可实现安全安装。
- 燃气调压阀、燃气节流阀、燃气流量计、燃气流量监测、超温保护检测、出口温度检测、负载输出、温控功率调节模块,精准控制触手可及。
6.使用注意事项:
- 确保可靠接地,确保安全运行。
- 利用电子控制避免干烧,包括过温保护和流量传感器集成。
产品规格
型号 | CPH-P38-180/220-15-A T200 | |
材质: | 基管材料: | 电解抛光 304 不锈钢 |
性能参数: | 电压: | 220V/50Hz |
| 功率: | 1300-1400W (+5%/-10%) | |
| 电流: | 最高可达 7A per zone | |
| 气压: | 0.3-0.6MP | |
| 流速: | 50-200L/min | |
| 出口温度: | 25-200℃ | |
| 典型最大功率密度: | ||
| 空气: | 22 W/cm2 | |
| 水: | 60 W/cm2 | |
| 最大压力: | 5~6 bar | |
| 最高温度: | 200°C (测算值) | |
外观尺寸: | 外径: | Φ38mm |
| 体长: | 180mm | |
| 管径: | A-1/2 B-3/8 C-1/4 | |
放置方向: | 气体加热: | 水平或垂直 |
| 液体加热: | 水平或垂直 | |
型号解析

选型表
| 型号 | 功率 | 电压 | 温度范围 | 流量范围 | 尺寸 | 对应控制器 |
| CPH-P38-180/220-15-A T200 | 1.5kW | 200-240V / 单相 | 25-200°C | 50–200 L/min | 300×94×74mm,口径1/2英寸 可使用变径接头进行转换口径尺寸 | SJX-N2TC-HM-220/1.8K-P1 |
| 型号 | 功率 | 电压 | 温度范围 | 流量范围 | 尺寸 | 对应控制器 |
| SJX-H-N2L-220V2.8K-A-T350 | 2.8 kW | 220V | 常温 ~350℃ | 300L/min | 264×51×67mm 进出口气管口径1/2英寸×T1.24 | SJX-N2TC-HL-220_4K-P1 |
| 型号 | 功率 | 电压 | 温度范围 | 流量范围 | 尺寸 |
| SJX-H-N2L-220V/07K-D2 | 750 W | 220V | 常温 ~350℃ | 70L/min | 238×38×68.5mm 进出口气管口径10mm×T1.5 |
