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炉管碳化硅舟为什么不能干法清洗?
文章出处：公司动态
责任编辑：广东库锐特科技有限公司
发表时间：2024-11-25
知识星球（星球名：芯片制造与封测社区）里的学员提问：炉管中的SiC boat为什么不能dry clean？
SiC boat，即碳化硅舟。碳化硅舟是用在炉管中，装载载晶圆进行高温处理的耐高温配件。由于碳化硅材料具有耐高温、抗化学腐蚀和良好的热稳定性等特性，它被广泛用于各种热处理过程，如扩散、氧化、CVD、退火等。该种类型的舟主体是石墨，一体加工成型。但是石墨多孔，容易产生颗粒，必须在石墨晶舟表面涂敷一层SiC薄膜，由于石墨体和SiC薄膜之间的 CTE(热膨胀系数）不匹配，SiC薄膜通常在多次升降温使用后容易剥落，导致颗粒的产生。这种舟最便宜，使用寿命在一年左右。重结晶的SiC晶舟是多孔的，也易产生颗粒，因此需要将重结晶的SiC晶舟的几个单元部件先预先成型、烧结，然后分别加工，之后将各个单元部件在高温下以Si膏粘合，粘合成一晶舟之后再CVD涂覆SiC薄膜。这种重结晶SiC晶舟制造流程最长，成本高，但是表面的CVD涂层也会损坏，寿命在3年左右。该晶舟整体都是由SiC材料构成。需要将SiC从粉末成形并烧结成一体式晶舟的相应形状。成本极高但是很耐用，不易产生颗粒。但是这种晶舟含有10~15％ 的游离硅，容易被F，Cl侵蚀，从而导致微粒。综上，用CVD镀一层SiC薄膜的晶舟，在干法清洗时表面SiC涂层易脱落，造成颗粒；一体成型的SiC晶舟里有少量的游离硅，容易被含F，含Cl气体侵蚀而产生颗粒，造成污染。
