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热门关键词： 高纯半导体加热器　氮气加热器　真空清洁机　PTC加热器　PFA在线加热器 PFA半导体超纯水加热器

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2024-11

板式加热器的介绍

板式加热器的介绍

电加热型的板式加热器是通过电能转换为热能进行加热。具体来说，它利用电阻丝或其他电热元件将电能转化为热能，从而加热液体或气体。板式加热器由若干个平行排列的加热板组成，当液体或气体通过这些加热板时，会受到板面的热辐射和对流传热的作用
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2024-11

半导体高纯石英在线加热器的介绍

半导体高纯石英在线加热...

半导体高纯石英在线加热器是一种专门设计用于半导体生产过程中的设备，主要用于对高纯石英材料进行在线加热处理。这种加热器具有高精度、高效率和高度可靠性的特点，能够确保半导体生产过程中对石英材料的纯净度和温度控制达到最佳
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2024-11

炉管碳化硅舟为什么不能干法清洗?

炉管碳化硅舟为什么不能...

用CVD镀一层SiC薄膜的晶舟，在干法清洗时表面SiC涂层易脱落，造成颗粒；一体成型的SiC晶舟里有少量的游离硅，容易被含F，含Cl气体侵蚀而产生颗粒，造成污染。
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2024-11

外延技术

外延技术

在碳化硅外延过程中，采用PVT方法，温度高达2000多度，加工周期较长，产出较低，导致碳化硅衬底成本极高。在器件制备方面，由于碳化硅的特殊性，采用了高温的工艺，包括高温离子注入、高温氧化以及高温退火工艺。碳化硅外延片的关键参数取决于器件设计，随着电压能力的增加，外延厚度随之增加，高质量外延片的制备面临挑战，尤其在高压领域，缺陷的控...
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